�й�������ѷ ����ӵ����20����70�������������չѹ�٣�ŀǰ�ѱ��㷺ӧ���ڱ�яʽ�����豸����ͨ���ߡ����ܵ�վ�����պ�����������ȶ��ե�̼������������ĺ���ͻ��и��ϣ��������ը�������ṩ���ӿ�ݵĵ���ͨ�������ҿ�����ч����������������ͣ��ӷ����ֵ缫�������ԣ���ߵ��ѭ���ȶ��ԡ�
����
������ϳߴ�с��150nmʱ�������ƕ�뵼�µ������������������ӧ���������������ƶľ�һ����չ����ʱ����ϲ��ᷢ������ͷۻ�����ˣ�ӧ���ڹ�̼�����ĺ����������һ��ά����ҫ����150nm���դ�ϊ�����ƶù�̼�������ϣ�������ч�������ƕ��﮹����е�������ͳ����бƚ������ƕ����������ԣ���������ʊ���ϊ����ӵ�ع���������ϵ�һ����ҫ�о�����
����۵ŀɿغ�ģ���ʊ�ϊ����ʵ��������ϊ���������ϡ��ȶ��ߵ����ե�����ӵ�ع�̼���������ṩ�˱�֤��
ŀǰ����۵��ʊ���ҫ�������϶��º����¶��ϵ�2�ַ�����ǰ�������������ķ���ʹ��״��ԭ�θӵ�с���ϵ�����ﵽ����ijߴ磬������������������ѧ�ķ����թ�դ���ͻ��зֽ�����ѽ⣬ͨ�������ķ����������ߴ������������о��϶����ҫ�л�ѧ����������������������������ͻ�е��ĥ����
�������ձ��ȹ��ҵ���ҵ������۵��о����磬�ձ����ˡ������ű����ҵ�������õ�����������������������۵��ʊ���
�ҹ�����������������������ʊ�����ˮƽ�����լ��ɱ����⣬��������һ����ի�е��ĥ��ϊ����������������������������������������ʊ��ij�ʒ�����в�ࡣ�����ч��������۵���ò����������ν��ͳɱ���ʵ������۵ĵ��ģ������������ҵ����ҫһֱ̽�������⡣
��̼�������ϲ�ҵ��ӧ�ü���չ����
��ȴ�ͳ����̼������������������������ե����ơ����ŷ�����ӵ�������ܶȵ�ҫ������լ���س��̶��ڸ�����ϵ���յ����죬��̼�������ϵ�ӧ������չ����
�������ӧ������һ�������ѿ��γɹ�ʶ���������ӧ�ó����ڽ������������١�������ӧ�ù����������˹�����⣬����ε�����ǽ����������ڵ�ؼ����ͼ��漰�踺����������ʱ���������߿ơ��ǻ��դ���ȿˡ���γ��ܵȵ�س��̸߱�������ط����у���̼��������ȷ��ϊ��չ����
����ҵר�ҷ�����ǰ2023����踺�������ռ�ʲ���3%��Ԥ�������ܴﵽ5%��������դ�����ij�զ��չ�������ڶ���﮵����������ܶⱥ͵ͳɱ��������£���̼�����������ԡ��������ź�̼�����ʊ����յij������ƺͳ�ҵ��ģ�������죬��̼�������ͻ�ӭ����ϊ�������г���
��ը��ฺ�����ϵij�ҵ��������������г�״�����й�����������10��25-26���ڶ�ݸ�ٰ�ڶ����ƚ��������ϼ������ҵ�߷���̳����ʱ�����ʦ����ѧ�о�ա�ų�������ϊ����̼������������о���չ���ı��档���潫ϵͳ���ܹ�̼�������о���չ�ͳ�ҵ��������״�����թ�̼��������������ķ�չ���н���ϸ�ij�����ͨ���թ�̼�����ij�ͬ����·�ߵ���ȱ����бƚϣ����թ�̼�������ϵ�δ����չ����չ����
ר�ҽ�飺
�ų����у�47�꣬��ʿ���о�ա��2010�격ʿ��ҵ���ͽ���ѧ����դ���ϻ�ѧ�о�����һֱ����﮵縺�����ϵ��о��ͳ�ҵ������������������������ŵ��µ���̿���з������к����������������ӵ�ظ������ϵij�ҵ����ŀ����ŀ����ǧ��Ԫ������ѧ���ڿ�����sci��¼���ķ�ƪ�������ý��˰���ρ�2014��������ʦ����ѧ��դ���ϲ������ĺ�ʼ��̼�������ϵij�ҵ�����������ⱥ����ֽ����˶����������ӵ�ظ������ϵ�у����������о�������2015�����������ȼ��ѧ���ƚ�����ҫ�о�����ϊ�м���̿��̼�������ϡ����ʯī���������¸��������լ���ȼʯī�����ȿ�����о���
�ο���դ��
�ŵ�ƽ��. ����ķ��������ʊ�����﮵���е�ӧ���о�
��������. �ȵ������巨�ʊ����������
�ºʋ���. ����ӵ�ع�����������о����չ
��̼������ҵ��״������̽��.�ͳ���ǧ��
���й��������༭����/�ռ�
ע��ͼƭ����ҵ��;��������ȩ��֪ɾ����