��ҵ����
��������������װ������˾������2001�꣬��һ�ҽ��з�����ơ����졢��װ���ԡ���������������һ��ŀƽ��ͣ�����װ�������̡�
�����ŷӵ��ϸ�����80�����ʼ��������������ĥ������������ɢ�ȼ�����е��ҵ����ʮ����һ�ա��ڼ�ʵ�ļ�������֮�ϣ�����������װ������˾����ϊһ���զ��������ܻ���������ṩ�̡�
��ӫ�ߵ���ɢ����ĥ�豸�㷺ӧ������ī��Ϳ�ϣ����ᣬɫ����������ز��ϣ������ӽ��ϣ��ܷ⽺����֬��ʳʒ���ϣ�����ҽҩ������ʒ����ױʒ��ũҩ����������ҵ��
��˾ӵ��ǿ����з��ŷӣ��ٻ���¼�����ҵ������ʡ�����̱꣬ȡ��65��ר�������з���ר��8���˾��ʒզ��������������������ӣ��������˹���������ձ����������ǣ�ӡ��ȹ��ҽ�������
�����ŷӽ����ϼ������º���������������ը����я�ֹ�����բ������õ����죡
���ֲ�ʒ����
1��wsp-j ����ȴ��ʽȫ����ĥ��ϵ��
�ɵ��ڶ�̬���������ø���ĥ��ĩ�ͻ��ƴɣ������խ��ԡ��ɵ���϶���ص㣬���϶�ɵ�����0.2mm���û�����ѡ���0.6mm����ĥ���ʣ�ϊ��߲�ʒϸ�ȴ�����������
�ɱ��ݻ��ļ���ʽĥǻ���ı������ܶⱥ�ͳ��ѹ���� �դﵽ��ѷ�ɢч����
2��wsp-400l������������ĥ��
����ת�ӽṹ��ƣ��������������װλ�ð�������ѧ��ƣ��ﵽ������ĥ���������������ĥч�ʣ�ʹ���θﵽ�������������������ļ������ȳ����dzⶨ����сϸ�ȿɴ�с��50nm��
����ԭ����
�������ž��ϱ��ɶ��˽�����ĥǻ������ת�ӵ���ת�����ȷֲ�����ת�ӻͷ��ӷ�϶�����������������¶����ͻ��г���Ԥ��ɢ�������ڽ�����ǿ�ҵ���ĥ�у�ת�ӻͷ��ӷ���ĥ���������������ҵ�ײ���仯����ĥ���������������ϣ����ϵ�����ĥ����ĥ�����������ĥǻͣ���ض�����ĥʱ�䣬�ӷ��õ�һ����խ�ij�ʒ���ȷֲ������ڽ��ϱ�ѹ���������������£������ܶȵij�ͬ����ĥ���ʷ�����ĥǻ������ȴ�����������෴�ķ�������ʽ���������˷��룬ѭ��������
3��wsp-t ����ʽ����ɰĥ��ϵ��
���ٵ�����ʽ��ɢ������ĥ���������ƶ��������л�����բ�ܷ������ɸ����������봫ͳ�ĵ�һ����������ȣ���������˼�������ķ��ܡ�
���ַ�ɢ�������ѹ���ʹ������������ǿ�ҽӵ���ɢ�����ɻ�ȡ��ǿ�������������ͳ�ṹ��ǿ��ײ����������������ܺ���ͬʱ��������鵱�����ӳ��˷�ɢ����������
4��gfj ����ϵ��
�ò�ʒ���ҹ�˾�ƴ���һ��ͨ����Ԥ���衢Ԥ��ɢ�豸�����������һѹ��������ɢ�̲��ñ�ƶ�����ߣ��ٶȿ��դﵽ18m/s��
�����ͻ�
