�й�������ѷ
��ҵ���
��ݸ���ճۻ�е�ƽ�����˾�������¹��ƚ���ĥ������ר�ŵ���ʪ����ĥ�豸�з��������ĸ��¿ƽ��ɷ�������˾��רע�ڲ�����ĥ����ϸ�ƚ��������ӵ�й㷺���ƚ����������գ���ĥ���������й�ע����̱�ϊ�ճۣ�ӣ��ϊlecjx�����й�����ר���ֱ�����ʒ��
�ճ�ͨ�����ƚ�������ѧ�ͻ�е����ѧ�����ã���ƹ�ч��ĥ������ļ���������������ѧʵ����֤����ĥ����ͬ��ʒ�ʵ���ĥ�豸�����ŵ��ϣ��������ʪ����ĥ������߸�ч�����ܳ�ϸ��ɢ��������ĥ����������ʪ�����װ�����ʽ��ʪ����ʽ��ʽ��ʪ����ʽɰĥ����ʵ��������ɰĥ���������ˮ���������ȣ��㷺ӧ���ڹ�ҵͿ�ϡ���ī�����ᡢʳʒ���ɿ������ɿɷۣ���ҽҩ����ױʒ����ϸ�������մɡ�����ӹ�����ֽ����ά�ء�ũҩ����ء������²��ϵȸ߶�������ĥ���ʒ���ȷֲ�խ��������������������羵��⣨caco3��сϸ��d97��70nm��
���ֲ�ʒ����
1������ɰĥ��
���ԣ�
����ɰĥ����ѭ����ĥϵͳ�����ڸ�������������������ճ�ⱥͼ������еij�ʒ������ʹ�õ���с��ĥ��ֱ���ﵽ0.1mm�����գɹ����ٵĵﵽ��߲����ͽ�������ϸ�ȷ�χ����сϸ�ȿɴﵽd97<100nm��
2����������ʽɰĥ��
3��������ʽɰĥ��
���ԣ�
����ṹ����ͻ���������������ת���־���ƽ����ԣ�����ƽ�ȣ���������
ȫ���ڵĺ����ͻ�е�ܷ⼫���������豸�ŀɿ��ժ���������ʱ�䡣
����ͨ����������������������װ�õķ��գ������ɿأ��¶��ء�
������ϸ���������ȡ��ֲ���խ��������ĥ�ṹ���ȴ�ͳ��ʽ����ĥч�����50%���ϡ�
4��20l/50l����ɰĥ��
���ԣ�
�������ּ��������ɻ�ø߲��ܡ�
����ĥ����ɸ�֣�������0.1mm���դ�щ����ĥ���ʡ�ɸ�ָ������ش���ĥǻ��
��ɫ��ʒ����ҡ�