�й�������ѷ ij�о�����ƣ�2010�꣬ȫ����ȳ����г����ƹ�ģϊ321����Ԫ��δ����������ϊ 6.3%����2019��ɴ�556����Ԫ�����й�ҵ���豸����լռ�ܷݶ�����֮һ����������ռ�ֶܷ������֮��������ȫ���г���������˾�����µ��鱨�棬�������ȳ��ϵ��г���ģԤ�ƶ�2024�꽫�ﵽ349����Ԫ����ϊռ�����������ȳ����г�������ģ�͵����ⲿ�ֵ���������ƾ�����㣬���������ӯ���г��أ�
���ȳ��ϣ���ͳvs����
���ȳ�����ָ�������������ݵij��ϣ��ֳ��ⱦ�ե���ϡ����ȳ���һ�������㽨���ռ���ȹ��豸���ȼ�����ҫ����һ����ҳ��լ����դ����щ���ҽ����ȳ��ͽ����ǽ�ú̿��ʯ�͡���ȼ��������֮��ġ��������դ���� �㷺ӧ����ס����������ũҵ��������ʩ��װ�����졢�������̵ȹ��ø����������ҹ������ƽ����ܼ��š��������ܺ�������ⱦ���σ�ʵ����ɫ��̼��չ�ĺؼ����ϻ���ҫ���ϡ�
���������ܣ����ȳ��ͽɷ�ϊ��ͳ���ȳ��ϻ����;��ȳ��������ࡣ
��ͳ���ȳ��ϣ��粣����ά�������ޡ������ޡ������ρ�������������������ճ�������ʻ�����������ơ���ĭ�������մ���ά��һֱ���������ž������ص����ã��㷺ӧ���ڸ���������2016��ľ������ȳ����г��у��������ȳ��ϲ����˳�50%�������������ǣ���щ��ͳ���ȳ����ڲ�ͬ�̶��ͼ�����һ���ij��㡣
ϊ�˿˷��������ȳ��ϵij��㣬������ҷխ��ܻ�����ҫ��,���;��ȳ���ӧ�˶��������;��ȳ����������ȳ��ϡ���վ��ȳ��ϡ��ͷ�����ȳ��ϡ���䴢�ܲ��ϡ������²��ϵȡ����у�����������ռ�����������ȳ����г�������ģ�͵����ⲿ�֡�
������ƾ��������ȳ����г�����������
��������ҳ��ϊ���������ܶƚ�ϊ�����ܶȵ�2.75�������������ܶ���с�ĺ��塣��������������ɲ�ͬ���է�ϊ̼ϵ����ϵ����ϵ������������ϵ������ϵ�ȡ�����ŀǰ������ӧ���������ǹ�ϵ��������������������������
sio2��������һ��������������ײ���,���������ṹ(���Ϳ�с��50nm,�ǽܿ���ϊ1��20nm),��ȱ����(��߿ɴ�800��1000m2/g),�߿���(�ɸߴ�80%��99.8%)���ص㡣����,sio2������������,һ����800����,�ṹ�����������ա仯,��ˣ�sio2����������ϊ���¸��ȳ��ϸ�����������ױȵ���խ�ԡ�
���������ȳ��ϵľ��ȼ���
��1���������������������е�����ֱ��с��70nmʱ�������ڵŀ������ӿ�ʧȥ��������������������եظ��������ױ��ϣ���ʱ���θ��ڽ������״̬��
��2�����䣺�����������ڵ�����ϊ���������ټӳ��ϱ������͵�����ܶȣ�ʹ�����ڲ����ױ���ŀ���ڡ�����ࡰ������ÿһ�����ױ���˵�������ȱ�����ã�����������ڡ���������ȱ塰��чӧ���ӷ�ʹ���䴫���½���������ͼ��ޡ�
��3���ȴ��������ڽ�����������ĵ��ڣ������ڹ����о�ֻ���������ױڴ��ݣ��������������ױڹ����˽��ڡ����·����чӧ��ʹ�ù����ȴ����������½����ӽ���ͼ��ޡ�
�봫ͳ���ȳ������,����sio2���������ȳ��ͽ����ø������������с������ﵽ��ч�ĸ���ч���������кܺõ����ȶ��ԡ����ȳ�����լ����ȱ�ů��,���������ͳ�ŀ�����,ʹ���ݼȸ����ֱ�ů������������ڸ߲㽨��,���ȡ��һ��ļǽ����,�����ὠ��������,�����������á�����,�ڹܵ���¯ҥ�������ȹ��豸����sio2���������ȸ��ϲ��������ͳ�ı��²���,�ɴ�����������ʧ�������׳������ȳ���sio2������ӧ����̫������ˮ���ĵ�ˮ�䡢�ܵ��ͼ�����,����ч�ʿ����1������,������ʧ�½�������ˮƽ��30%���¡����ң�ʹ��ǰ���ܹ����ֲ��ۻ�����������ϻ�����֧��ù���������ۺ����ܳ��ڱ��ֲ��䣻ʹ�����������뽨����ͬ������
�������ȳ����г����������⣬���ͳɱ��ǹؼ�
1931�꣬����˹̹����ѧkistlerͨ��ˮ��ˮ�����״��ʊ��õ�����������ֱ��2013�����ң������ҵ���㷢չ������ŀǰ�ƚ����ȵ����������й�������������ռ�����������ȳ����г�������ģ�͵����ⲿ�֣���ŀǰ���������ȳ����г��еĺ�ģ������������ģ���һ����˵����������ҵ��ȼ���������σ�ͬʱ��Ԥʾ����δ����ķ�չ�ռ䡣
���о��������۸�߰����ʊ����ڳ����и�ʴ�ե����գ�ϊ��������������չƿ����һֱ��լ����������ӧ��ǰ�������ԣ���������ҫ�������ȳ����г����������⣬����,��sio2���������ʊ�����,����ʱ��,���ͳɱ�,��ȡ��������ָ��ӻ����ĸ���sio2����������ʱ��sio2������������խ�ĸ�����������������������ؽ��õ�խ��խ�������,��ȡ����ͳ���ȳ��ϡ�